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六---硫的使用可以增加设备运行的安全性、缩小设备体积、延长设备寿命。近几年,大力发展基础电力行业,给六---硫厂家带来了很大的市场机遇。
高纯六---硫(纯度在99.99%以上),六---硫价格,国内需求非常旺盛,而且附加值较高。
高纯六---硫主要用于半导体工业中作清洗气体。
六---硫的成本只有nf3的几分之一,近年来,各公司以廉价的sf6取代以往cvd工艺中作为清洗气体的nf3的新技术正被广泛研究。
该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的cvd气体成本的同时,还显示出了极
据权
国内使用六---硫作为蚀刻气的生产线有近50条,在未来的五年预计将有---至30条新线建成。每年约消耗高纯六---硫为600吨左右。而国内高纯六---硫产品远远不能满足市场需求,半导体厂家所用高纯产品大部分依赖进口,六---硫供应商,这给高纯六---企业提供更多的发展机遇。
目前采用第二种试验方法较为准确,其实施程序是:抽真空检验***sf6气体***六---硫气体泄漏检验。
具体过程为:在gis经真空检漏并静止sf6气体5h后,六---硫,用塑料薄膜在法兰接口等处包扎,再过24h后进行检测,如果有一处薄膜内sf6气体的浓度大于30ppm,则该气室漏气率不合格。如果所有包扎薄膜内sf6气体的浓度均小于30ppm,则认为该气室漏气率合格。
六---硫气体泄漏在线监控报警系统是检测现场sf6气体浓度、氧气含量及温湿度等环境数据,并通过大量数据分析处理做出控制以及告警的智能气体报警系统。
1、性状:无色无味气体。 2、熔点℃:-51
3、沸点℃:-64升华 4、相对密度水=1:1.67-100℃
5、相对蒸气密度空气=1:6.602 6、饱和蒸气压kpa:245025℃
7、临界温度℃:45.6 8、临界压力mpa:3.76
9、辛醇/水分配系数:1.68 10、溶解性:微溶于水,溶于---、yi 醚
11、汽化热kg/mol:23.59升华热 12、熔化热kg/mol:5.82
13、黏度mpa·s,气体:0.01576 14、黏度mpa·s,液体:0.277
15、折射率气体:1.000783
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